InGaN šviestukai su tekstūruotais (patterned) safyro padėklais

Problema.
Safyro padėklų tekstūravimas ir jo įtaka šviestukų kokybei.
Patentinė analizė.

InGaN yra puiki medžiaga šviestukų gamybai, nes:
Eg galima keisti nuo 0,8 eV iki 6,2 eV.
Puikus cheminis stabilumas ir aukštas šiluminis laidumas.
Ištobulinus technologiją, būtų pigiausias būdas gaminti aukštos kokybės šviestukus.

Tačiau nėra tinkamų padėklų – safyro patys pigiausi, nors netinka nei šiluminis laidumas bei gardelės nesuderinamos. GaN ir AlN buferiniai sluoksniai leido sumažinti sraigtinių dislokacijų skaičių iki 109-1012 cm-1 tai tai nepakanka. ELO ir Pendeo technologijos per brangios.


Galima išeitis – tekstūruoti safyro padėklus.